在真空等離子清洗機的反應腔室的材質選擇上，常見的材質包括石英玻璃、不銹鋼和鋁合金等，具體選擇在不同行業(yè)和應用領域中會有所區(qū)別。而用于半導體行業(yè)的等離子清洗機大多采用鋁合金，不知大家是否知道這是為什么，今天我們所要介紹的便與這點有關。

在半導體行業(yè)內，常使用到利用真空等離子清洗機清洗、刻蝕的作用，而這就會對反應腔室的材質選擇有著一定的要求，因為在處理晶圓、支架等產(chǎn)品上對工藝環(huán)境的要求很高，相應地對反應腔室的材質也有著特定的選擇，若是忽視了等離子的技術原理和各材質間的性質，最后的處理結果也會有著很大的不同。

而在處理半導體物件的真空等離子清洗機的反應腔室上，都會選擇鋁質的腔體，這大致有以下幾點原因：

1、鋁合金密度低，強度卻高，還超過優(yōu)質鋼，并且可以有效降低設備的整體質量，機械加工性能比較好；

2、鋁合金具有一些金屬通常具備的優(yōu)良的導電性、導熱性和抗蝕性；

3、鋁合金這一金屬材料對化學反應的兼容性比較好，不易產(chǎn)生金屬污染、particle等，能夠滿足等離子處理工藝和工業(yè)生產(chǎn)對于綠色環(huán)保的需求，符合產(chǎn)業(yè)可持續(xù)理念；

4、在表面處理方面鋁合金能起到的作用較為豐富，包括電泳、噴涂、陽極氧化等；

5、鋁合金的趨膚深度是不銹鋼的10倍以上，使得在發(fā)生器運作后腔體內電流分布更均勻，并且腔體不容易發(fā)熱，起到既能保證腔體狀態(tài)穩(wěn)定保證工藝質量的作用，相比其他許多金屬又更加安全。

這些便是在實際使用中之所以選擇鋁合金作為處理半導體產(chǎn)品的真空等離子清洗機反應腔體整體材質的重要原因了，在考量中我們處于處理的效率問題、安全問題、環(huán)保問題等方面考慮，最后選擇鋁合金這一優(yōu)質金屬材料，這在某種程度上其實也是我們通過難以計數(shù)的實驗所總結出的經(jīng)驗來決定的。